專訪KLA-Tencor光罩產品事業部副總裁兼總經理熊亞霖 科磊三大新品提升光罩檢測辨識率

作者: 侯冠州
2016 年 09 月 01 日
為提升10奈米與7奈米晶圓光罩缺陷辨識率,科磊(KLA-Tencor)宣布推出三款先進的光罩檢測系統,分別為Teron 640、Teron SL655和光罩決策中心(RDC),使光罩和積體電路晶圓廠能夠更高效地辨識微影中顯著並嚴重損害良率的缺陷(Defect)。
》想看更多內容?快來【免費加入會員】【登入會員】,享受更多閱讀文章的權限喔!
標籤
相關文章

調整體質/強化研發 半導體業者以變應變

2009 年 01 月 05 日

掌握零組件檢測/驗證標準 台商搶進智慧型車輛商機

2009 年 01 月 23 日

影響層面擴大 BYOD應用平台走向開放性

2014 年 01 月 13 日

再想想,你被涵化了嗎?

2019 年 07 月 06 日

技術/標準/資源步步到位 構築永續車載充電系統

2021 年 03 月 27 日

產業全力克服AI幻覺 精準LLM近在眼前(1)

2024 年 07 月 18 日
前一篇
高通/OSIsoft聯手 大聯盟教士隊主場變身智慧棒球場
下一篇
凌華與Wind River建立策略聯盟